官方微信公众号 | 企业六合图库 | 今日热点 | 技术文库| 解决方案| 政策法规| 商贸网 广告服务||登陆|注册 |B2B|六合开奖结果电子论坛  
中国六合开奖结果电子行业门户-中国六合开奖结果电子产业网
西安永电电气有限责任六合资料
  志成冠军UPS电源 赛晶六合开奖结果电子集团IGBT驱动 2018IGBT报告阿波罗探针台三菱电机
当前位置:中国六合开奖结果电子产业网 > 热点导读 > 北方华创研发成功原子层刻蚀设备,为高端装备再添新秀

北方华创研发成功原子层刻蚀设备,为高端装备再添新秀

www.p-e-china.com 2019/3/27 19:26:44 来源:互联网 六合开奖结果电子论坛|免费发布产品

   近日,北方华创自主研发的原子层刻蚀(Atomic Layer Etching,ALE)设备成功进入行业知名客户的生产线,为国产设备在先进制造、高端装备等领域再添新秀。

    传统等离子刻蚀设备在进入14nm以下技术代,以及其它低损伤要求的刻蚀领域以后,会面临诸如刻蚀损伤、负载效应以及控制精度等一系列挑战,而最佳的解决方案是原子层刻蚀技术。基于循环方式的原子层刻蚀,在原理上与常规的等离子体刻蚀有所不同。一种典型的逐层刻蚀方法如下图所示,首先将结合气体导入刻蚀腔,吸附于材料的表面,形成一个结合层。这一改性步骤具有自停止性,即表面一旦饱和,反应立即停止。接着,清除刻蚀腔中过量的结合气体,并引入刻蚀气体。刻蚀气体形成等离子体后,通过离子轰击材料表面,物理性去除之前产生的结合层,进而留下下层未经改性的表面。这种去除过程仍然是有自停止性的,因为一旦结合层被全部去除后,该过程也将终止,不会继续去除下面的材料。上述步骤完成后,表面的一层材料即可被精确地去除。不断循环重复上述过程,通过控制循环次数,可精确控制刻蚀深度、刻蚀速率等。

  

 

  原子层刻蚀原理

    北方华创微电子开发的原子层刻蚀设备,集合了等离子能量精确控制、超快速气体切换、射频与气体同步控制等关键技术。通过表面修饰、表面去除的循环重复,达到逐层刻蚀的效果,实现了精确可控、均匀性好、表面粗糙度小、损伤低、无负载效应的刻蚀制程。该设备已顺利实现客户端工艺验证。

    原子层刻蚀技术是集成电路、芯片制造领域高端科技的代表,可以广泛应用于14nm以下集成电路、硅基半导体器件、III-V族化合物器件、石墨烯等二维材料器件的制造中。

  

 

    北方华创将以此为契机,立足客户需求,不断创新,助推产业技术进步,带给产业无限可能。

 

填写您的邮件地址,订阅我们的精彩内容:

关注“六合开奖结果电子网微信公众号”免费获得3000G资料.资料涵盖:六合开奖结果电子,电工电气等领域的资料!
  添加方式:
1、手机扫描左侧二维码
2、添加朋友,搜微信号:pedianlidianzi
有事先发邮件,我会及时与您联系,谢谢合作。   网站电子邮箱:: 2212348358@qq.com
热门搜索
六合开奖结果电子 | 关于我们 | 软文广告刊登 | 合作伙伴 | 帮助中心 | 广告服务 | 网站地图 | 客服中心 | 联系我们

广告合作∶010-82967069  Email∶ 13653149263@163.com  展会联系∶15901066028   六合开奖结果电子技术群:89732570   Copyright2011   / All Rights Reserved    六合开奖结果电子技术千人大群1群:62874691 (未满)  六合开奖结果电子技术千人大群2 群:279588364  
  版权所有∶中国六合开奖结果电子产业网(www.p-e-china.com) 经营许可证编号∶ 京ICP备11012668号-1  京公网安备 11010802009741 号   
网站服务|广告服务|文章投稿|友情链接QQ: 2212348358